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乐守清贫 勇挑重担 ——记四川省劳动模范、中国科学院光电技术研究所研究员胡松
2016-03-10 14:39来源:四川党建网

乐守清贫 勇挑重担
——记四川省劳动模范、中国科学院光电技术研究所研究员胡松

文图\中国科学院光电所党办

在位于成都远郊的中国科学院光电技术研究所里有一位乐守“清贫”,勇挑重担的中共党员,他就是该所2015年被评为四川省劳动模范的微电子装备研究室主任胡松研究员,四川省有突出贡献优秀专家,博士导师。

1988年,胡松抱着发展我国微电子装备事业的强烈愿望,毅然选择了光电技术研究所,投身于直接分步重复投影光刻机的科技攻关中,从此开展了他的科研生涯。他在从事基础研究的微电子装备研究室一干就是近30年。基础研究需要孜孜不倦的情怀,需要有坐得住冷板凳的决心和耐力,更需要常人难以企及的执著和毅力。从光电所承担国家八五科技攻关项目“0.8-1微米分步重复投影光刻机”,“0.7微米分步重复投影光刻机”,“0.35微米投影光刻机关键单元技术研究”等项目开始,到承担微细光刻领域国家重大专项,胡松同志也从一名青年技术人员成长为国家级领域专家。他的科研成绩有目共睹——先后承担二十多项微电子光刻装备领域“七五”、“八五”、“九五”、“十五”国家科技攻关,中科院重大项目,国家攻关项目,国家自然科学基金项目等。特别是他主持研发的紫外光刻机系列,获得了全国半导体材料及装备创新技术产品称号和四川省科技进步三等奖,拥有完全自主知识产权,授权专利超过100项。在此之前,光刻设备完全依赖进口且受制于人,而胡松团队研发的紫外光刻机系列在光刻分辨力、套刻精度、曝光深度等与国际同类技术水平相当,开创了我国光刻设备出口先例,打破了国外技术壁垒。目前紫外光刻机系列销售收入约7000万元,替代进口为国家节约外汇约5000万美元;同时作为半导体产业链的源头,推动我国在微电子、分立电子元件、平板显示器、LED、声表器件、MEMS、传感器技术进步和产业发展。 

胡松说,“国家的需求,才是我们的动力和目标”。他作为首席技术专家参加十五国家重大专项光刻机的方案论证和前期研制工作。“十一五”期间,他根据国家信息产业发展的战略需求,以科技工作者的强烈事业心和高度责任感,向国家有关部门建言献策,撰写报告,建议加速发展我国大规模集成电路制造装备事业。目前,他正率领团队进行国家重大专项和国家重大仪器设备专项的科研攻关工作,将挑战光学系统现有设计和制造极限,为打破国外技术壁垒、形成具有自主知识产权的高端光刻设备、带动半导体产业跨越发展奠定坚实基础。

坚守初心,培育科研“血脉”

胡松的科研之路并不是那么一帆风顺,在上世纪末,科技体制调整与改革使科研单位投身于市场竞争的洪流中,而国家在微细光刻领域的部署迟迟没有启动,这些不利因素给他所在的研究室带来了巨大压力。而此时,两家发达地区的高新单位却向他抛出了橄榄枝:2002年,他在上海参加国家微电子装备的攻关研制任务期间,某单位高薪邀请他加入自己的研究团队。他婉拒了对方的邀请,回到光电所挑起了微电子装备研究室主任的担子。次年,他再一次拒绝某公司高出他当时年薪近十倍的“挖角”,带领自己的团队在基础研究的“清贫”中不断前进。他认为,自己取得的每一点成绩与光电所的培养息息相关,自己的责任是将这支年轻的微细光刻研究队伍发展起来。面对生存的压力,胡松决定拓展新项目“生物芯片仪器研制”,以此锻炼队伍、解决经费问题。这是一个前瞻性和实用性都非常强的科研课题,在国内尚无先例。经过刻苦攻关,研究取得重大突破,第一台样机研制成功后,他的团队相继成功研发三类十一种制备仪器,申报了30余项国家专利,达到国际先进水平。这从根本上改变了当时我国此类器件全部依赖进口的局面,也为研究室的发展提供了重要的经济支撑。事业上的初见成效,不仅稳定了队伍,留住了骨干,更树立了研究团队坚守领域研究的信心。他通过自己百折不挠的坚持,培育了一支能吃苦、能攻关的创新团队,他以自己的严谨学风、拼搏精神和无私的科研品格带出了一支朝气蓬勃的队伍,科研“血脉”得到传承。

倾囊相授,自有桃李芬芳

胡松科研成果骄人,在长期从事微细光学技术与专用设备、生命科学仪器的研制工作过程中,他先后承担了三十多项国家科技攻关、中科院重大项目、国家“863”项目、国家重大科技专项、国家重大仪器专项、国家自然科学基金等。他带领团队先后荣获国家科技进步三等奖、中科院科技进步二等奖、四川省科技进步二等奖。在国内外刊物上发表论文一百五十余篇;作为副主编出版专著《光学投影曝光微纳加工技术》获优秀学术著作二等奖,已两次印刷出版。

作为微电子装备研究室主任和微电子领域专家,胡松培养了大批优秀青年科研人才,其中就有博士生15名、硕士生22名,引进博、硕士20余名,培养出了一支平均年龄不到35岁、在微电子领域具有学术影响力、敢啃“硬骨头”、善于“打硬仗”的青年科技队伍,在国家重大科技任务中发挥着关键和中坚作用。他的团队也屡获殊荣——省部及以上奖项20余次,其中包括国家科技进步三等奖两次,院科技进步一等奖三次, 1.5微米光刻机曾获得全国十大电子精品奖。团队研制的毫米量级单面深度光刻机、掩模移动浮雕光刻机、双面光刻机等开创中国光刻机历史上多个第一,掌握了高精度物镜、照明技术、纳米量级对准、检焦、间隙检测技术等核心关键技术,成为微电子光刻领域的主力军、旗舰队。

成绩属于过去,科研的道路依然深邃辽远。在国家创新发展的巨轮驱动之下,相信胡松和他的团队依然能纵情驰骋,再获佳绩! 

编辑:黄薇
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